芯碁微装直写光刻技术领先,应用领域拓展

导语:随着技术的不断进步,直写光刻技术在半导体行业中扮演着越来越重要的角色。本文将探讨芯碁微装在直写光刻领域的领先地位,以及这一技术如何应用于晶圆重构封装,解决偏移问题,增加产能。我们还将关注竞争态势,特别是国内领先地位和未来高端领域的布局。随着直写技术的不断发展,它将在半导体行业中扮演更为重要的角色。让我们一起深入了解这一领域的最新动态。

【芯碁微装】直写光刻技术领先,下游应用领域不断拓展

泛半导体:在先进封装中,曝光机主要应用于倒装FC的凸块制作、重分布层RDL、TSV、铜柱等。得益于直写光刻图形灵活的特点,直写光刻在晶圆重构封装中解决偏移问题能力较强,产能接近传统曝光机,具备一定竞争力。

光刻:技术路径二分,直写光刻日趋成熟。直写光刻技术,无需掩膜版,可直接将版图信息转移到涂有光刻胶的衬底上。伴随技术进步,直写光刻逐步拓展应用。公司WLP2000系统采用多光学引擎并行扫描技术,具备自动套刻、背部对准、智能纠偏、WEE/WEP功能,在RDL、Bumping和TSV等制程工艺中优势明显。

竞争:直写需求提升,技术国内领先。LDI光刻机具备发现位置偏移,提升产品良率等优势,我们预计LDI曝光设备未来将持续向高端领域布局。根据公告,精度水平方面掩膜版制版达到90nm,先进封装2微米,FPD最小解析优于700nm,载板系列6微米节点,功率器件2微米级别。

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