光刻机产业链梳理

一、整机

1、上海微电子

张江高科：持股上海微电子10.779%的股份

上海电气：母公司为上海微电子第一大股东

2、长春光机所

奥普光电：长春光机所为公司实际控制人

二、部件

1、光源

波长光电：光刻机平行光源系统

福品科技：提供激光器上的KBFF晶体，中科院旗下

茂莱光学：精密光学器件已应用于国产光刻机

2、光学器件

苏大维格：向上海微电子提供光刻机用的定位光栅产品

炬光科技：提供光刻机曝光系统里面核心元器件光场匀化器

腾景科技：多波段合分束器已进入微电子供应链

京华激光：控股美国公司在光刻机微结构光学方面实力较强

3、空气净化

美埃科技：提供最高洁净等级标准的设备，国外企业供应商白名单

4、物镜

赛微电子：光刻机厂商的MEMS透镜部件供应商

5、结构件

富创精密：半导体零部件营收规模A股第一，为12.9亿

新莱应材：半导体零部件营收规模A股第二，为7.1亿

金力泰：超微弧氧化技术可应用于光刻机设备零部件的表面处理，子公司是上海微电子供应商

电科数字：子公司可供货光刻机控制器